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 µ-SIS
  µ-SIS -> … das Konzept
 

Mikroskopische Prüftechnik Photovoltaik:
In Ergänzung zu bereits im Einsatz befindlichen Kamerasystemen
ermöglicht das µ-SIS (Selektives-Inspektions-System) eine Erkennung von:

  1. Kantenausbrüchen
  2. Muschelausbruch
  3. Risse / Sägelinien / µ-Riss
  4. Schichtabplatzungen
  5. Verunreinigungen

Das Mikroskopische µ-SIS bietet im Vergleich zu den bereits im Einsatz befindlichen Kamerasystemen, die mit einer Auflösung im Bereich von 20µm – 40µm arbeiten, die Möglichkeit der Darstellung einer Struktur- / µ-Riss-Erkennung im Bereich von 1µm.





Das μ-SIS ermöglich es, industrielle Qualitätsprüfungen mit Auflösungen kleiner als 1μm vorzunehmen! Das AMBIS™, ein Patent der Universität Münster, realisiert die Bildaufnahme ohne den Mikroskoptisch bei der Bildaufnahme zu stoppen (Faktor 20-fache Geschwindigkeit).

Mit einem vorgelagerten Kamerasystem, z.B. mit einer Zeilenkamera, werden die verdächtigen Bereiche ermittelt und dann als Koordinaten an das Mikroskop übermittelt. Das Mikroskop kann dann über ein Achssystem (Patent pending) gezielte selektive Bereiche in-inline inspizieren. Unterschiedliche Oberflächen werden dabei durch individuell entwickelte Beleuchtungskonzepte optimal ausgeleuchtet.

Größere Bildformate bis zu 400 G-Byte und mehr sind durch den arivis Browser realisierbar. Der arivis Browser ist ein modulares Softwaresystem für die Verwaltung, Visualisierung und Analyse nahezu unbegrenzt umfangreicher Bilddaten. Sämtliche Funktionalitäten, die u. a. als 2D-Bild, als 3D-Bildstapel vorliegen, können auf normalen PCs verarbeitet werden (Option). Die AlfaVis Bildauswertungssoftware ermöglicht die Prozesskontrolle anhand von „easy-teach“ Prüfmethoden für die Inline-Prüfung.


Technische Daten


Anwendungen: Wafer-Fertigung, Solarzellenkontrolle, Solarmodule, Dünnschichtinspektion, Oberflächenprüfung, Druckbildcharakterisierung
Kamera / Optik: Orthogonales Kameramodul mit Megapixel-Technologie
Kamerabildpunktgröße 1.360 x 1.040 Pixel (Pixelgröße 6,4 x 6,4 μm),
je nach Applikation sind weitere Auflösungen möglich.
Bildfeldgröße / F.O.V. 1.320 x 1.012 Pixel 5-fach Objektiv
Bildfeldgröße / F.O.V. 660 x 500 Pixel 10-fach Objektiv
Bildfeldgröße / F.O.V. 330 x 250 Pixel 20-fach Objektiv
Bildfeldgröße / F.O.V. 165 x 125 Pixel 40-fach Objektiv
Arbeitsbereich: 250 mm x 250 mm (weitere Arbeitsbereiche nach Abstimmung)
Scan-Geschwindigkeit: 30 mm / sek.
Prüfzeiten: abhängig vom F.O.V.
Software: ICAT – Browser Bildmontage
AlfaVis Bildauswertung
Option: Verarbeitung von Bildformaten bis zu 400 G-Byte mit
arivis - Multiple Image Tools
Anschlusswerte: 220 – 240 VAC , 50Hz
Abmessungen: 1.200mm x 800 mm x 1.600 mm (B x T x H)
Gewicht: 450 kg
   





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